Wie benutze ich das Polierkissen?

Derzeit wird das chemische mechanische Polieren häufig in der Zwischenschicht-Planarisierungsverarbeitung von Substratwafern und mehrschichtiger Verdrahtung verwendet. Das Polierkissen ist ein wichtiger Bestandteil des CMP-Systems des chemischen mechanischen Poliers (CMP). Es hat die Funktionen, die Polierflüssigkeit zu speichern und in den gesamten Verarbeitungsbereich des Werkstücks zu transportieren. So wie man das verwendetPolierkissen?

Hier ist die Inhaltsliste:

l Was ist die Zusammensetzung des Poliermaterials?

l Was ist der Mechanismus des Polierkissens?

l Wie benutze man ein Polierkissen, um Marmor zu polieren?

Was ist die Zusammensetzung des Poliermaterials?

Die im CMP-Prozess verwendete Ausrüstung und Verbrauchsmaterialien umfassen: Poliermaschine, Polierflüssigkeit, Polierkissen, POLITION-POLITION, POST-CMP-Reinigungsgeräte, Polierende Endpunkterfassungs- und Prozesssteuergeräte, Abfallbehandlungen und Detektionsgeräte usw. Unter diesen umfassen CMP-Materialien hauptsächlich Polieren Flüssigkeiten, Polierkissen, Regulatoren, CMP-Reinigung und andere Verbrauchsmaterialien, während Polierflüssigkeiten und Polierpads mehr als 80% des Marktsegments des CMP-Materials ausmachen, sind die Kernmaterialien des CMP-Prozesses.

Die Leistung des Polierkissens ist von Faktoren wie der Materialeigenschaften, der Oberflächenstruktur, der Oberflächennutform und der Arbeitstemperatur beeinflusst. Unter diesen Beeinflussungsfaktoren ist die Oberflächennutform und die Größe des Polierkissens einer der wichtigsten Parameter der Leistung des Polierkissens, der die Verteilung und Bewegung der Polierflüssigkeit in dem Polierbereich direkt beeinflusst und die Temperaturverteilung beeinflusst des Polierbereichs. Das Polierkissen ist auch eine Art Verbrauchsmaterial, das rechtzeitig ersetzt werden muss. Für das Polierkissen, das nicht lange ausgetauscht wird, bleibt der Rückstand des durch Polieren entfernten Materials leicht dabei und verursacht Kratzer auf der Oberfläche des Werkstücks. Wenn gleichzeitig das Polierkissen nach dem Polieren nicht rechtzeitig gereinigt wird, beeinflussen die Feststoffe, die an dem Polierkissen nach dem Lufttrocknen haften, die Qualität des nächsten Polierens.

Was ist der Mechanismus des Polierkissens?

Das Polierkissen beruht auf dem zu polierenden Objekt, um sich unter Druck auf die Oberfläche zu bewegen, um einen Unterdruck zu erzeugen, so dass die Polierflüssigkeit anfänglich in den Öffnungen der Oberfläche der Oberfläche zwischen der Oberfläche vorhanden ist.

Wie benutzt manaPolierkissen zum polnischen Marmor?

Marmor ist eine Art metamorphe Rock, und seine Härte, die Lebensdauer, Farbe, Farbe und Textur kann stark variieren. Die Verwendung eines Marmor-Diamantpolierkissens für Nasspolieren ist die ideale erste Wahl für das Polieren von Marmor.

(1) Platzieren Sie die Marmorfliese oder die Platte auf die Werkbank und klemmen Sie sie, um sicherzustellen, dass sich er während des Schleifens oder Polierens nicht bewegt. Wenn der Marmor sehr porös ist, wird empfohlen, es mit Maskierungsband abzudecken.

(2) Verbinden Sie das Backing-Pad an die Nasspoliermaschine, um ihn vor der Installation zu schließen. Jetzt können Sie den Poliervorgang starten, das Diamant-Marmorpolierkit öffnen und mit dem 50-Greif-Polierkissen beginnen. Stick 50 Sandkörner auf dem Klettverschluss der Trägerplatte und schalten langsam die Nasspoliermaschine ein. Starten Sie die Poliermaschine mit niedriger Geschwindigkeit und starten Sie die Ränder des Marmors und überschreiten Sie nicht vier bis fünf Mal. Bei niedrigeren Schleifkörnern können zu viele Iterationen mehr als nötig schleifen, ohne den Wert der polierten Oberfläche zu erhöhen.

(3) Stellen Sie sicher, dass jeder Oberflächenteil mit Kies poliert ist, und bewegen Sie sich dann in einen höheren Kies. Alle unpolierten Bereichen mit niedrigerem Sand führen zu einem sub-optimalen Glanz. Eine gute Möglichkeit, sicherzustellen, dass jeder Teil der Kante poliert ist, besteht darin, die Randoberfläche mit einem leicht gepressten nassen Handtuch zu wischen und es trocknen. Die Wärme verdampft das polierte Wasser. Stellen Sie sicher, dass das gesamte Wasser verdampft, dann eine Runde des Nasspolierens durchführen. Nachdem die gesamte Oberfläche poliert ist, bewegen Sie sich in den nächsten höheren Kies.

(4) Fahren Sie fort und verwenden Sie das Diamant-Marmorpolierkit, um diese Prozesse von einem niedrigeren Korn bis zu einem höheren Körnung zu wiederholen, bis das gewünschte Finish erhalten wird.

Heute ist die Polier-Pad-Technologie gut entwickelt. Und die Beliebtheit der Polierkissen ist sehr hoch und neigt allmählich zur Vereinigung internationaler Standards. Wenn Sie sich in der Polierkissengeschäft befinden,Hubei Little Ant Diamond Tools Co., Ltd. ist eine ideale Wahl.