Um den Polierprozess abzuschließen, müssen wir die grundlegende Konfiguration ausführen. Neben der Vorbereitung der Poliermaschine sollten wir auch das Polierkissen vorbereiten. Es gibt viele Klassifizierungen von Polierkissen, unterschiedlichen Materialien, und jeder hat seine Stärken. Sie können im Polieren verwendet werden

Derzeit wird das chemische mechanische Polieren häufig in der Zwischenschicht-Planarisierungsverarbeitung von Substratwafern und mehrschichtiger Verdrahtung verwendet. Das Polierkissen ist ein wichtiger Bestandteil des CMP-Systems des chemischen mechanischen Poliers (CMP). Es hat die Funktionen des Speicherns der Polierflüssigkeit und des Transports

Polierkissen werden auch Polierhäute, Poliertücher, Polierkissen genannt und sind wichtige Hilfsstoffe, die die Oberflächenqualität in chemischem mechanischen Polieren bestimmen. Polierkissen können in abrasive Polierkissen und nicht abrasive Polierkissen unterteilt werden, egal ob