Das Polierpad wird zum Polieren der Oberfläche des Werkstücks und der Beschichtungsschicht verwendet. Das Polierrad ist unterteilt in: Polierstoffrad, Hanfrad, Nylonrad, Kabelrad, Windrad, Wollrad usw. Es gibt viele Arten.

Das Polierpad spielt eine wichtige Rolle beim gesamten Polierprozess der Keramikpoliermaschine. Es kann die Polierflüssigkeit gleichmäßig verteilt machen und die Fütterung der Polierflüssigkeit während des Polierprozesses aufrechterhalten. Die Reaktanten wurden reibungslos entlassen. Garantierte Stabilität, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit während des gesamten Poliervorgangs.

Derzeit wird das chemische mechanische Polieren häufig in der Zwischenschicht-Planarisierungsverarbeitung von Substratwafern und mehrschichtiger Verdrahtung verwendet. Das Polierkissen ist ein wichtiger Bestandteil des CMP-Systems des chemischen mechanischen Poliers (CMP). Es hat die Funktionen des Speicherns der Polierflüssigkeit und des Transports

Polierkissen werden auch Polierhäute, Poliertücher, Polierkissen genannt und sind wichtige Hilfsstoffe, die die Oberflächenqualität in chemischem mechanischen Polieren bestimmen. Polierkissen können in abrasive Polierkissen und nicht abrasive Polierkissen unterteilt werden, egal ob