Das Polierpad wird zum Polieren der Oberfläche des Werkstücks und der Beschichtungsschicht verwendet. Das Polierrad ist unterteilt in: Polierstoffrad, Hanfrad, Nylonrad, Kabelrad, Windrad, Wollrad usw. Es gibt viele Arten.

Derzeit wird das chemische mechanische Polieren häufig in der Zwischenschicht-Planarisierungsverarbeitung von Substratwafern und mehrschichtiger Verdrahtung verwendet. Das Polierkissen ist ein wichtiger Bestandteil des CMP-Systems des chemischen mechanischen Poliers (CMP). Es hat die Funktionen des Speicherns der Polierflüssigkeit und des Transports

Das Polierkissen ist ein wichtiges Hilfsstoff, das die Oberflächenqualität im chemischen mechanischen Polieren bestimmt. Gemäß den verschiedenen Materialien kann es in Polyurethanpolierkissen, nicht gewebte Polierkissen und Verbundpolierkissen aufgeteilt werden. Wissen Sie, was für ein Metallpolieren?