Wie sind Metallpolierkissen besser als gewöhnliche Polierkissen?

Das Polierkissen ist ein wichtiges Hilfsstoff, das die Oberflächenqualität im chemischen mechanischen Polieren bestimmt. Gemäß den verschiedenen Materialien kann es in Polyurethanpolierkissen, nicht gewebte Polierkissen und Verbundpolierkissen aufgeteilt werden. Wissen Sie, was ein Metallpolierkissen ist?

Hier ist die Inhaltsliste:

Was sind die Eigenschaften von Metallpolierkissen?

Was ist die Rolle des Polierkissens?

Was sind die Eigenschaften von Metallpolierkissen?

DasMetallpolierkissenist ein hartes Polierkissen, einschließlich einer Metallpolierschicht und einer Trägerschicht gegenüber der Metallpolierschicht; es ist dadurch gekennzeichnet, dass: die Metallpolierschicht mit kreuzkreuzenden Chipflöten ausgebildet ist und in der Polierplattform zwischen den Chipflöten ausgebildet ist; Die Backplane-Schicht ist mit einem Wärmeableitungsarray und einer Nut zwischen dem Wärmeableitungsanordnung gebildet, und das Polierkissen hat auch ein Polierkissen, das sich von der Backplane-Schicht bis zu den Polierschichten von Luftkanälen erstreckt. Das in diesem Artikel beschriebene Metallpolierkissen kann zur Polierbehandlung von Grobschleifstein oder Metallmaterialien verwendet werden, und es ist vorteilhaft, die Anzahl der Kratzer auf der Polierfläche zu reduzieren und den Polierwirkung zu verbessern.

Was ist die Rolle des Polierkissens?

Polierkissen können in etwa in Ebenen, Gittertyp und Spiralart gemäß den verschiedenen Oberflächenstrukturen unterteilt werden. Seine Hauptfunktionen sind:

① effektiv und gleichmäßig die Polierflüssigkeit in verschiedene Bereiche des Polierkissens transportieren;

② reibungslos die Reaktanten und Ablagerungen, die nach dem Polieren, um den Entfernungswirkung zu erreichen, reibungslos abzuleiten;

③ Halten Sie den Polierflüssigkeitsfilm auf der Oberfläche des Polierkissens aufrecht, so dass die chemische Reaktion vollständig erfolgen kann;

④ Halten Sie den Poliervorgang stabil und die Oberfläche wird nicht verformt, um eine bessere Waferoberflächenmorphologie zu erhalten.

Die Gesamtstruktur des Polierkissens kann drei Teile sein: die Oberflächenfunktionsschicht, die Basisschicht und die Klebstoffschicht. Derzeit sind die Oberflächenfunktionsschicht und die Basisschicht aller Polierkissen integriert; Beim chemischem mechanischen Polieren ist die Oberflächenschicht des Polierkissens und des Wafers hauptsächlich, wenn die Polierflüssigkeit in Kontakt steht, die Oberflächenstrukturschicht des Polierkissens auch durch Abrieb verbraucht wird. Wenn daher die Oberflächenstruktur des Polierkissens seine Funktion verliert (wie Nuten abnutzen, Oberflächenglasur usw.), wird das gesamte Polierkissen oft ersetzt, wodurch der Abfall der Basisschicht des Polierkissens die Produktionskosten erhöht.

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