Was ist ein Polierkissen?

Polierkissenwerden auch Polierscheiben, Poliertücher, Polierkissen genannt und sind wichtige Hilfsstoffe, die die Oberflächenqualität im chemischen mechanischen Polieren bestimmen.

Hier ist die Inhaltsliste:

1. So klassifizieren Sie Polierkissen?

2. Was ist die Rolle des Polierkissens?

3. Was sind die beeinflussenden Faktoren von Polierkissen?

Wie klassifizieren Sie Polierkissen?

Je nachdem, ob es Schleifmittel enthält, kann er in abrasive Polierkissen und nicht abrasive Polierkissen aufgeteilt werden. Gemäß verschiedenen Materialien kann es in Polyurethan-Polierkissen, nicht gewebte Polierkissen, unterteilt werdenVerbundpolierkissen, Gemäß den verschiedenen Oberflächenstrukturen kann es grob in flacher Typ, Gittertyp und Spiralleitungstyp unterteilt werden.

Die vorhandenen Polierkissen können grob in zwei Arten unterteilt werden: Vlies Polierkissen und unabhängige Schaumpolierkissen. Das vorhandene nicht gewebe Polierkissen umfasst mehrere Fasern und ein Harz, und sein Herstellungsverfahren ist es, ein Verbundmaterial von Samt- oder Wildstoff-ähnlichen Fasern und dem Harz zu verwenden oder das von diesen Fasern gebildete Vliesstoffe in einem Thermoplastisches Polyamin Eine dünne Folie mit großer Kompressionsverformbarkeit und Weichheit, erhalten durch nasse Koagulation von Carbaminsäureesterharz. Der Nachteil dieser Art von Polierkissen ist, dass seine Weichheit leicht zu der schlechten Abflachungsleistung der Polierfläche führt, und das Harz kann die Fasern nicht gleichmäßig abdecken, dh einige Fasern werden nicht vom Harz abgedeckt, was zu einer unzureichenden Gesamtfestigkeit führt Und die Lebensdauer ist kürzer.

Das vorhandene unabhängige Polierkissen des Schaumstoffs umfasst eine Vielzahl von Löchern und ein Harz, und sein Herstellungsverfahren ist das Gießen des Harzes (üblicherweise einen Polymerschaum aus thermoplastischem Polyurethan) in einen runden Formzylinder und wartet, um gekühlt zu werden. Nach der Erstarrung wird es von Scheiben hergestellt. Diese Art von Polierkissen hat eine höhere Steifigkeit als das erste vorhandene nicht gewebtes Polierkissen und hat eine unabhängige Blasenstruktur und wird häufig im polieren mit hohem Planariat verwendet. Das größte Problem mit diesem Polierkissen besteht jedoch darin, dass die Harzkonzentration nicht leicht in dem runden Formfass verteilt ist. Der Unterschied in der Temperaturverteilung an jeder Position des runden Formlaufs während des Formens führt dazu, dass die Größe und Verteilung der Löcher inkonsistent ist. Und es ist nicht einfach zu kontrollieren. Nach dem Schneidvorgang wird der Unterschied in der Größe der Löcher auf der Schneidfläche des Polierkissens offensichtlicher sein. Darüber hinaus sind die Löcher nicht verbunden, was die Polierflüssigkeit während des Gebrauchs schwierig macht, und es ist leicht, das Werkstück zu kratzen.

Was ist die Rolle des Polierkissens?

① wirksam und transportieren gleichmäßig die Polierflüssigkeit in verschiedene Bereiche des Polierkissens;

②Moothly entladen die Reaktanten und Trümmer, dass die chemische Reaktion nach dem Polieren vollständig fortschreitet, um den Entfernungswirkung zu erreichen;

③Maintain den Polierflüssigkeitsfilm auf der Oberfläche des Polierkissens, so dass die chemische Reaktion vollständig vorgehen kann;

④ Halten Sie den Poliervorgang stabil und die Oberfläche wird nicht verformt, um eine bessere Oberflächenmorphologie des Wafers zu erhalten;

Was sind die beeinflussenden Faktoren von Polierkissen?

①Hardness - Die Härte des Polierkissens bestimmt die Fähigkeit, die Genauigkeit der Oberflächenform aufrechtzuerhalten;

Das Kompressionsverhältnis - das Kompressionsverhältnis spiegelt die Anti-Verformungsfähigkeit des Polierkissens wider;

③ Erhaltung - Die Erhaltung des Polierkissens ist die Qualität der Polierflüssigkeit, die in dem Polierkissen pro Volumeneinheit gespeichert ist;

④Roughness-Oberflächenrauheit ist die Unebenheit der Polierkissenoberfläche;

⑤ Dichtedichte ist die Kompaktheit des Polierkissenmaterials;

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