veröffentlichen Zeit: 2021-07-06 Herkunft: Powered
Polierkissen werden auch Polierhäute, Poliertücher, Polierkissen genannt und sind wichtige Hilfsstoffe, die die Oberflächenqualität in chemischem mechanischem Polieren bestimmen.
Polierkissen können in abrasive Polierkissen und nicht abrasive Polierkissen unterteilt werden, je nachdem, ob sie Schleifmittel enthalten; Gemäß verschiedenen Materialien können sie in Polyurethan-Polierkissen, nicht gewebte Polierkissen und Verbundpolierkissen aufgeteilt werden; Gemäß den verschiedenen Oberflächenstrukturen können sie grob in flacher Typ, Gittertyp und Spiralleitungstyp unterteilt werden.
Hier ist die Inhaltsliste:
l Welche Rolle ist die Rolle des Polierkissens bei der Bearbeitung des Werkstücks auf der Oberflächenschleifmaschine?
l Wie viele Wege gibt es zum Polieren?
l Einflussfaktoren eines Polierkissens
DasPolierkissentransportiert die Polierflüssigkeit in verschiedene Bereiche des Polierkissens effektiv und gleichmäßig; Das Polierkissen entlädt die Reaktanten und Trümmer, die nach dem Polieren vollständig chemisch umgesetzt wurden, um den Entfernungseffekt vollständig umzusetzen;
Halten Sie den Polierflüssigkeitsfilm auf der Oberfläche des Polierkissens aufrecht, so dass die chemische Reaktion vollständig vorgehen kann; Das Polierkissen hält die Glätte des Poliervorgangs aufrecht und die Oberfläche wird nicht verformt, um eine bessere Oberflächenmorphologie des Wafers zu erhalten.
Es gibt viele traditionelle materielle Planarisierungstechnologien, wie beispielsweise Wärmeströmungsverfahren, Ätzverfahren, rotierendes Glasverfahren, elektronenseitiges Resonanzverfahren, Niederdruck-CVD, selektive Abscheidung, Abscheidungs-Etch-Abscheidung, Plasma-Verbesserte CVD usw. Planarisierungsprozess wurde in der Entwicklung angewendet. Da diese Technologien zu der lokalen Planarisierungstechnologie von Materialien gehören, um eine globale Planarisierung zu erreichen, hat sich die Verwendung von Polierkissen für die chemische mechanische Poliertechnologie allmählich begonnen, sich zu entwickeln.
Das Polierkissen ist eines der wichtigen Verbrauchsmaterialien, die die Polierrate und Planarisierungsfähigkeit im CMP-Prozess bestimmen. Um eine bessere Rolle mit dem Schleifmittel zu spielen, hat das Polierkissen normalerweise bestimmte mechanische Eigenschaften und poröse Wasserabsorptionseigenschaften. Löcher können helfen, Schleifmittel zu übertragen und die Poliereinheitlichkeit zu verbessern.
Es gibt drei grundlegende Arten von Polierkissen: Polyurethan-Polierkissen, nicht gewebe Polierkissen und Polierkolben und Polierkolben von Flusen.
Härte: Die Härte des Polierkissens bestimmt die Fähigkeit, die Genauigkeit der Oberfläche aufrechtzuerhalten; Kompressionsverhältnis: Das Kompressionsverhältnis spiegelt die Anti-Verformungsfähigkeit des Polierkissens wider; Erhaltung: Die Erhaltung des Polierkissens ist die Qualität der pro Lautstärke des Polierkissens gespeicherten Polierflüssigkeit; Rauheit: Oberflächenrauheit ist der Grad der Ungleichmäßigkeit auf der Oberfläche des Polierkissens; Dichte: Dichte ist der Grad der Kompaktheit des Polierkissenmaterials;
Heute sind Polierkissenfabriken gut entwickelt, mit einer Vielzahl von Umsatz, und neigen allmählich mit internationalen Standards. Daher wählen verschiedene Hersteller unterschiedliche Polierkissen. Ob ein gewöhnliches Polierkissen oder ein Super Polierkissen ist. Das Polierkissen, hergestellt vonHubei Little Ant Diamond Tools Co., Ltd. ist die beste Wahl für ein trockenes Polierkissen.